반도체 제조용 공정 튜브

Abstract

본 고안은 산화막 성장용 공정 튜브내에 설치되어 산소와 수소를 가열 물로 변환시키는 자외선 램프 재킷에 대한 냉각방식을 수냉식에서 공냉식으로 전환함으로써 이물질이 냉각가스 순환로 내부면에 흡착되는 현상을 방지할 수 있다. 이러한 기능을 수행하기 위한 본 고안은 냉각효과를 지속적으로 얻을 수 있으며, 냉각수를 사용하는 경우에 발생하는 각 부재의 수분에 의한 부식현상을 방지할 수 있어 장비의 효율을 극대화할 수 있는 효과가 있다. 본 고안은 자외선 램프가 수용된 재킷의 외부에 냉각가스 순환로를 나선형태로 배치시키되, 냉각가스 순환로의 한단부를 냉각가스 유입파이프와 연결시키고, 또다른 단부는 냉각수 배출 파이프와 연결시켜 냉각가스 순환로 내부로 유입된 냉각가스로 하여금 고온의 자외선 램프 재킷을 일정한 온도 이하로 냉각시킬 수 있도록 구성하였다.

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